CIF透射電鏡樣品桿清洗機
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CIF 透射電鏡（TEM）樣品桿清洗機采用遠程離子清洗源 設計，清洗快速高效， 低轟擊損傷， 同時可實現常規等離子清洗。 主要用于 TEM透射電鏡樣品桿的等離子體清洗和真空檢漏。
更新時間：2024-03-18 15:39:14
產品特點
◆ 遠程離子清洗源
◆ 一機多用
◆ 清洗快速高效，低轟擊損傷
技術參數
產品型號 | CIF-TEM |
等離子電源 | 13.56MHz 等離子射頻電源，射頻功率 5-150W 可調 |
遠程等離子源，自動匹配器 | |
清洗室 | 清洗室尺寸 ?180xH100mm |
清洗數量 | 可同時清洗 3 支 TEM 樣品桿 |
適配品牌 | 美國 THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本電子（JEOL） |
氣體控制 | 標配單路質量流量計（MFC）可選雙路。0-500sccm/ 分，自動控制氣體流量，不會受環境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 皮拉尼真空計，測量范圍 1.0E-5Pa~1E+5Pa |
真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
真空泵 | 前級泵 |
抽氣速率 2.5 m3/h | |
分子泵 | |
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分子泵抽速 85L/s（N2） | |
入口法蘭：DN63 ISO-K(LF)/ CF | |
質量保證 | 二年質保，終身維護 |
電 源 | AC220V、50/60Hz，300W |
產品尺寸 | L565xW505xH560mm |
包裝尺寸 | L715xW655xH820mm |
整機重量 | 68kg |
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